Název:
SMV-2021-39: Vypracování metodiky charakterizace ASIC Chipu
Překlad názvu:
SMV-2021-39: SEM characterization method for ASIC Chip
Autoři:
Mika, Filip Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2021
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Vypracování metodiky přesného stanovení prvkového složení kontaktů na ASIC chipech po chemickém čištění s použitím vysokorozlišovacího rastrovacího elektronového mikroskopu.Expertise in chemical analysis of the chip contacts after chemical treatment with high resolution SEM.
Klíčová slova:
energy-filtered electron microscopy; morphology; non-charging electron microscopy
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0325876