Název: Diagnostika technologického plazmatu
Překlad názvu: Diagnostics of plasmas for technological applications
Autoři: Turek, Zdeněk ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Kousal, Jaroslav (oponent)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2020
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Předmětem diplomové práce je rozšíření měření parametrů plazmatu Langmuirovou sondou v systému s planárním magnetronem a plazmovou tryskou pracujících v pulzním režimu. Hlavními úkoly jsou úprava měřicího obvodu pro zvýšení maximálního sondového proudu a zprovoznění USB osciloskopu pro sběr dat s vyšším rozlišením a vyšší vzorkovací rychlostí. Dále bude ověřena funkce celého zařízení pomocí testovacích obvodů a také měřením sondových charakteristik ve výbojích v systému s magnetronem i plazmovou tryskou a to v kontinuálním i pulzním režimu. 1 The subject of the master thesis is the extension of the measurement of plasma para- meters by the Langmuir probe in a system with a planar magnetron and a hollow cathode operating in pulse mode. The main tasks are to modify the measuring circuit to increase the maximum probe current and to put the USB oscilloscope into operation for data collection with higher resolution and higher sampling rate. Furthermore, the function of the entire device will be verified using test circuits and also by measuring the probe characteristics in discharges in a system with a magnetron and a hollow cathode in both continuous and pulse mode. 1
Klíčová slova: Dutá katoda; HiPIMS; Langmuirova sonda; Planární magnetron; HiPIMS; Hollow cathode; Langmuir probe; Planar magnetron

Instituce: Fakulty UK (VŠKP) (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dostupné v digitálním repozitáři UK.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/20.500.11956/120928

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-456839


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Univerzita Karlova > Fakulty UK (VŠKP)
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce