Název: Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University
Autoři: Mikulík, P. ; Humlíček, J. ; Kulha, P. ; Hovorka, Miloš ; Kadlec, Filip
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: SILICON 2010 /12./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2010-11-02 / 2010-11-05
Rok: 2010
Jazyk: eng
Abstrakt: We present education and research at university clean room microelectronics laboratory for silicon device technology opened at Masaryk University in 2007. T
Klíčová slova: clean room; microelectronic; silicon device technology
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z10100520 (CEP), IAA100100907 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: 12th Scientific and Business Conference SILICON 2010, ISBN 978-80-254-7361-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0191990

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-42237


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference