Název: Modification of the Schottky Fe ZrO/W electron emitter
Autoři: Matějka, František ; Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Král, Stanislav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./, Skalský dvůr (CZ), 2010-05-31 / 2010-06-04
Rok: 2010
Jazyk: eng
Abstrakt: A Schottky electron emitter with a layer of ZrOx is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The low radius of the tip less than 300 nm is necessary for the proper function of the electron-optical system based on the principle of point projection. We studied the influence of both the surface treatment and the change of the shape of the tip on the emission characteristics.
Klíčová slova: e-beam writing system; point projection; Schottky electron emitter
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), IAA100650803 (CEP), FR-TI1/576 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA MPO, GA MŠk
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-6842-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0190597

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-41918


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference