Original title: Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS
Translated title: Quantitative analysis of matrix elements using SIMS and LEIS methods
Authors: Staněk, Jan ; Šik, Ondřej (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2019
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá porovnáváním a propojením dvou spektrometrických metod – spektrometrie rozptylu nízkoenergiových iontů (LEIS) a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). Metoda SIMS totiž, přes mnoho pozitivních vlastností, nedokáže potlačit tzv. matricový efekt, který činí kvantifikaci dat velice obtížnou. Vůči tomuto efektu je naopak imunní metoda LEIS, proto je vhodným doplněním metody SIMS. Jako vyhovující vzorek k porovnání byly vybrány vzorky AlGaN o různých koncentracích galia a hliníku. V první části práce je představena fyzikální podstata obou metod, experimentální sestavy a zkoumané vzorky. Ve vlastní části práce jsou pak popsána jednotlivá měření, porovnány data získaná výše zmíněnými metodami. This thesis studies comparison and connection of two spectrometric methods – low energy ion scattering spektrometry (LEIS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS). SIMS method, despite its many positive qualities, suffers of so called matrix effect, which makes quantifiaction of data very difficult. LEIS method on the other hand is immune to this effect and so it’s suitable completion of SIMS method. As a convenient sample have been chosen AlGaN samples with various concentration of gallium and aluminium. In the first part of thesis is introduced physical essence of SIMS and LEIS method, experimental details and studied samples. In second part of the thesis there’s a description of measurements and comparison of data gained by each method.
Keywords: AlGaN; composition analysis; LEIS; Low energy ion scattering; matrix effect; quantification; secondary ion mass spectrometry; SIMS; AlGaN; analýza složení; hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů; kvantifikace; LEIS; matricový efekt; Rozptyl nízkoenergiových iontů; SIMS

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/179130

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-402575


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses