Název: SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů
Překlad názvu: SMV-2018-20: Electron optical propertis of the multibeam electron source
Autoři: Radlička, Tomáš
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: electron source; multi-beam SEM

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0291421

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-390773


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy
 Záznam vytvořen dne 2019-01-07, naposledy upraven 2019-02-14.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet