Original title: Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot
Translated title: Optimization of UHV SEM for nanostructure study in wide temperature range
Authors: Axman, Tomáš ; Zigo,, Juraj (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2018
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se zabývá popisem současného stavu vyvíjeného zařízení a rešerší konkurenčních systémů. Další část popisuje optimalizaci nosiče vzorku a receptoru paletek pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot. Součástí optimalizace je i vývoj safírové tepelné diody a experimentální ověření funkčnosti navržených součástí. Následuje ověření funkčnosti celého zakládacího systému transportu vzorků do oblasti s UHV, depozice pomocí efuzní cely a pozorování in situ. This diploma thesis deals with the optimization of ultra-high vacuum scanning electron microscope - UHV SEM, which is developed within the Amispec project in cooperation with BUT, Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Science and Tescan Brno, s.r.o. The theoretical part deals with the description of the actual state of the developed equipment and the research of competing systems. The next part describes the optimization of the sample holder and the pallet receptor for studying nanostructures over a wide range of temperatures. Part of the optimization is the sapphire thermal diode development and experimental verification of the functionality of the designed components. This is followed by the verification of the functionality of the whole system for the transport of samples to the UHV area, deposition with effusion cell and in-situ observations.
Keywords: loading system; palette holder; sample holder; sapphire; scanning electron microscope; temperature separation; UHV SEM; nosič vzorku; rastrovací elektronový mikroskop; receptor paletek; safír; teplotní oddělení; UHV SEM; zakládací systém

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/83368

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-382282


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses