Název:
Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates
Překlad názvu:
Studium mechanických vlastností kovových vrstev na křemíkové podložce
Autoři:
Dušek, J. ; Buršíková, V. ; Sobota, Jaroslav ; Buršík, Jiří ; Bláhová, O. ; Klapetek, P. ; Vladoiu, R. ; Navrátil, V. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Nano'07 - International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic /6./, Brno (CZ), 2007-10-08 / 2007-10-10
Rok:
2007
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] The mechanical properties of metallic thin films deposited on silicon by magnetron sputtering and Thermoionic vacuum arc were studied using two different type of indentation methods - the depth sensing indentation test (DSI) and the continuous stiffness measurement method (CSM).Mechanické vlastnosti tenkých kovových vrstev deponovaných na křemíkovou podložku magnetronovým naprašováním a termoionickým vakuovým obloukem byly studovány použitím dvou různých indentačních metod DSI a CSM.
Klíčová slova:
metallic surface layers; silicon substrates Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z20410507 (CEP), KAN311610701 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Nano'07 - 6th International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic, ISBN 978-80-214-3460-8
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0154191