Název: Electron Beam Micromachining
Překlad názvu: Mikroobrábění elektronovým svazkem
Autoři: Dupák, Libor ; Zobač, Martin
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok: 2006
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The paper describes experimental device for electron beam micromachining as well as some experiments. The device itself is derived from electron beam welding machine SES-1 developed at ISI Brno. Using this device, several types of materials as stainless steel, titanium, quartz glass, ceramics and some plastics were drilled. Článek popisuje experimentální zařízení na mikroobrábění elektronovým svazkem spolu s několika experimenty. Zařízení je odvozeno ze stolní elektronové svářečky SES-1 vyvinuté na ÚPT v Brně. Pomocí tohoto zařízení byla úspěšně vrtána řada rozdílných materiálů jako nerezová ocel, titan, křemenné sklo, keramika a některé plasty.
Klíčová slova: electron beam drilling; quartz glass
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139505

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36239


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference