Název:
Rozvoj aparatury pro mikroobrábění elektronovým svazkem
Překlad názvu:
Development of the Electron beam micromachining device
Autoři:
Zobač, Martin Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Rok:
2005
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Práce se zabývá problematikou obrábění materiálu pomocí intenzivního elektronového svazku ve vakuu. Hlavním cílem je studium interakce elektronového svazku s kovovými a nekovovými materiály. Nedílnou součástí je příprava experimentálního zařízení, jeho vakuové části, elektronového děla a vytvoření speciální elektroniky.The paper describes micromachining with an intense electron beam. Main goal is a study of the electron beam interaction with metallic and/or nonmetallic materials. Design of vacuum system, electron gun and electronics of the experimental device is introduced.
Klíčová slova:
electron-beam; machining; run-time control Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111299