Název: Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Překlad názvu: Detection of Backscattered Electrons in Low Voltage Scanning Electron Microscopy
Autoři: Wandrol, Petr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Rok: 2005
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu. This paper deals with the problems of backscattered electrons (BSE) detection in low voltage scanning electron microscopy (LV SEM). The BSE energy is 3 keV and less in LV SEM. This low BSE energy causes problems with the acquisition of sufficient signal for the image. It is necessary to accelerate BSE and separate SE to obtain applicable specimen image.
Klíčová slova: backscattered electrons; low voltage SEM; trajectories
Číslo projektu: GA102/05/0886 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111298

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31958


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference