Název: Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií
Překlad názvu: Theoretical and experimental study of a Wien filter properties for using at the very-low-energy scanning electron microscope
Autoři: Vlček, Ivan
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Rok: 2005
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Výsledky studia Wienova filtru jsou využity při návrhu rastrovacího mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Wienův filtr slouží jako separátor primárních a signálních elektronů. Článek se také zabývá návrhem dalších částí optického systému mikroskop: objektivu, vychylovacího systému a detekční optiky. Results of Wien filter study are employed for design of a very low-energy scanning microscope. A Wien filter serves as a separator of primary and signal electrons in this arrangement. The paper describes design of other optical parts of the microscope: objective lens, deflection system and CCD detector optics.
Klíčová slova: CCD detector; very low energy SEM; Wien filter
Číslo projektu: GA202/03/1575 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111297

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31957


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference