Název: Programs for design of systems in particle optics
Autoři: Lencová, Bohumila ; Zlámal, J. ; Jánský, P.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Role of physics in future applications: from nanotechnology to macroelectronics, Tři Studně (CZ), 2002-06-10 / 2002-06-15
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: The paper describes a number of programs used by us in the design of systems for surface studies and deposition that simulate the focusing, transport and deflection of charged particles. In deposition and implantation systems often quite intense beams of ions are used where the space charge effects become prohibitive. Therefore we have extended our 2D FEM program EOD, equipped with a Windows graphical interface, with an option to compute space charge limited beams.
Klíčová slova: electron optical design; ion beam implantation; particle optics
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: International summer school: Role of physics in future applications: from nanotechnology to macroelectronics

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101228

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29590


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference