Název: Optoelectronic pressure sensor with Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. diaphragm
Autoři: Beneš, P. ; Matějka, František ; Vrba, R. ; Kolařík, V.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: ICPR, Praha (CZ), 2001-07-29 / 2001-08-03
Rok: 2001
Jazyk: eng
Abstrakt: Sensitive pressure sensor with nitride membrane and optoelectronic read-out system is described. Measured pressure is transformed into the deformation of a thick layer nitride membrane. Nitride membrane creates a mirror for laser beam and moves with reflected laser mark. Its position is sensed via a position sensing device - photo lateral diode. Diode double current signal is amplified and conditioned digitally by ADuC 812 microcomputer. This one chip provides an IEEE 1451.2 interface.
Klíčová slova: nitride membrane; optoelectronic; pressure
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: 16th international conference on production research, ISBN 80-02-01438-3

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101224

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29588


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference