Název: High resolution field emission scanning electron microscope JSM 6700 in ISI AS CR Brno - first experience and results with the instrument operation
Autoři: Matějková, Jiřina ; Rek, Antonín
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Role of physics in future applications: from nanotechnology to macroelectronics, Tři Studně (CZ), 2002-06-10 / 2002-06-15
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: JSM6700F is an ultra high resolution FE SEM suitable for observation of fine structures such as mutilayeres film and nano particles fabricated by the nanotechnology. This JEOL microscope is at ISI ASCR Brno in experimental operation since the beginning of 2002. Its possibilities have been tested on first specimens with submicron structures.
Klíčová slova: high resolution FE SEM; nano technology
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: International summer school: Role of physics in future applications: from nanotechnology to macroelectronics

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101223

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29587


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference