Název: Acquisition of multi-dimensional image in the scanning electron microscope
Autoři: Horáček, Miroslav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 2002-07-08 / 2002-07-12
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: The possibilities of acquisition of the energy spectrum of signal electrons or angular distribution for every point of the scanning matrix on the specimen in SEM were studied and suitable fast position sensitive detector was designed.
Klíčová slova: angular distribution; signal electrons
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA102/00/P001 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr, ISBN 80-238-8986-9

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101119

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29552


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference