Název:
ELito Project - New Ways in Electron-Beam Lithography
Autoři:
Matějka, František ; Kolařík, V. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: EDS '98 /5./ - Electronic Devices and Systems Conference, Brno (CZ), 1998-06-11 / 1998-06-12
Rok:
1998
Jazyk:
eng Číslo projektu: GA102/97/1145 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 5th Electronic Devices and Systems Conference 1998, ISBN 80-214-1198-8
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100632