Název: Pprava grafenovho biosensoru s odezvou ve stedn infraerven oblasti
Překlad názvu: Fabrication of graphene mid-infrared biosensor
Autoři: Gallina, Pavel ; Hrabovsk, Milo (oponent) ; Sadlek, Jakub (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2016
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Hlavnm pedmtem tto bakalsk prce byla pprava a men odezvy grafenovch plazmonickch biosenzor vytvoench na rovnch a zakivench povrch. Pro ppravu senzor byl pouit grafen vyroben metodou chemick depozice z plynn fze (CVD). Struktury byly tvoeny pomoc elektronov (EBL) a optick litografie, reaktivnho iontovho leptn (RIE) a magnetronovho napraovn. Vsledn senzory byly pot pozorovny v elektronovm (SEM) a optickm mikroskopu, topografie byla zjiovna mikroskopem atomrnch sil (AFM) a men bylo provedeno infraervenou spektroskopi s Fourierovou transformac (FTIR). The main subject of this bachelor's thesis was fabrication and measurement of response of graphene plasmonic biosensor prepared on flat and curved surfaces. Graphene produced by chemical vapour deposition (CVD) method was used for preparation of these sensors. The structures were fabricated using electron beam (EBL) and optical lithography, reactive ion etching (RIE) and magnetron sputtering. The resultant sensors were then observed in electron (SEM) and optical microscope, the topography was surveyed in atomic force microscope (AFM) and the measurement was carried out by Fourier transform infrared spectoscopy (FTIR).
Klíčová slova: AFM; biosenzor; CVD; EBL; FTIR; grafen; magnetronov napraovn; RIE; SEM; AFM; biosensor; CVD; EBL; FTIR; graphene; magnetron sputtering; RIE; SEM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/60970

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-254510


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce