Název: Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním
Překlad názvu: Properties of metal layers realized with vapour deposition
Autoři: Milichovský, Miloš ; Švecová, Olga (oponent) ; Šandera, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2011
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Práce se zabývá vakuovým napařováním kovů, a to jak základními principy této technologie, tak i zkoumáním vlastností výsledné vrstvy. Je zde popsána funkce napařovacího zařízení a jeho jednotlivé části. Stěžejní část práce se zabývá napařováním mědi i dalších látek a vodivostí výsledného filmu ve vztahu k jeho tloušťce. Jako parametr při měření je zadána teplota substrátu. This work deals with vacuum evaporation of metals, basic principles of this technology and exploring the properties of the resulting layer. It describes how vacuum evaporation works and its individual parts.The main part deals with evaporation of copper and other substances and the conductivity of the resulting film in relation to its thickness. As a parameter for measuring substrate temperature is specified.
Klíčová slova: napařovaný materiál; recipient; teplota; tlak; Vakuové napařování; vodivost; vrstva; výparník; vývěva.; air-pump.; conductivity; evaporation material; layer; pressure; recipient; temperature; Vacuum evaporation; vaporizer

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/1912

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-240683


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce