Original title: Stínící efekt oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený pomocí Kelvinovy sondové mikroskopie
Translated title: Shielding Effect of Oxide Isolating Layer on Surface Potential Measured by Kelvin Probe Force Microscopy
Authors: Švarc, Vojtěch ; Pálesch, Erik (referee) ; Bartošík, Miroslav (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2015
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato diplomová práce je zaměřená na experimentální studium stínícího efektu oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený Kelvinovým silovým mikroskopem. Pro studium povrchového potenciálu byly vytvořeny struktury na bázi Au/SiO2 pomocí elektronové litografie a metod depozice monovrstev a multivrstev. Povrchový potenciál byl zkoumaný v závislosti na vlhkosti a tloušťce oxidové vrstvy. The diploma thesis deals with the experimental study of shielding effect of oxide isolating layer on surface potential measured by Kelvin Probe Force Microscopy. For the study of surface potential were created Au/SiO2 based nanostructures by Electron Beam Lithography, Atomic Layer Deposition and Multilayer Deposition. Surface potential was measured depending on the relative humidity and thickness of oxide isolating layer.
Keywords: KPFM; relative humidity; SiO2; KPFM; relativní vlhkost; SiO2

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/41574

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-231956


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses