Original title: Depozice cínem dopovaného oxidu inditého a výzkum jeho optických vlastností
Translated title: Deposition of Indium Tin Oxide and study of its optical properties
Authors: Olivíková, Gabriela ; Kvapil, Michal (referee) ; Dvořák, Petr (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2015
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá přípravou a depozicí tenkých vrstev cínem dopovaného oxidu inditého (ITO) metodou iontového naprašování (IBS) s možností asistované depozice pomocí sekundárního iontového svazku (IBAD). V teoretické části je zpracována rešeršní studie zabývající se optickými a elektrickými vlastnostmi ITO, metodami používanými k jeho přípravě a aplikacemi.V experimentální části jsou zkoumány optické a transportní vlastnosti vrstev pomocí spektroskopických metod. Je ukázáno, že použití asistujícího svazku kyslíkových iontů o energii 80 eV vede ke zvýšení propustnosti deponovaných vrstev ve viditelné oblasti spektra a že IBAD je vhodnou metodou k modifikaci optických vlastností ITO. This work is focused on preparation and deposition of thin layers of indium tin oxide (ITO) by ion beam sputtering (IBS) and ion beam assisted deposition (IBAD). In the theoretical part, the electrical and optical properties, preparation methods, and applications are reviewed. In the experimental part, the optical and transport properties of deposited films are investigated by spectroscopic methods. It is shown that simultaneous bombardment of the surface with oxygen ions with energy 80 eV results in increase of transmittance in the visible range of spectrum. IBAD thus confirmed as a suitable method for modification of optical properties.
Keywords: indium tin oxide; ion beam assisted deposition spectroscopic ellipsometry; ion beam sputteing; cínem dopovaný oxid inditý; iontové naprašování; iontové naprašování s asistujícím iontovým svazkem; spektroskopická elipsometrie

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/41257

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-215248


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses