Název:
Charakterizace nanostruktur mikroskopií blízkého pole (SNOM)
Překlad názvu:
Characterization of nanostructures by the near-field optical microscopy (SNOM)
Autoři:
Pagáčová, Lenka ; Kalousek, Radek (oponent) ; Škoda, David (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2010
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Bakalářská práce se zabývá charakterizací nanostruktur mikroskopií blízkého pole. Uvádí fyzikální principy, na kterých tato metoda pracuje a popisuje experimentální uspořádání mikroskopie SNOM. Dále se zabývá charakterizací litografických struktur připravených metodou fokusovaného iontového svazku a stanovením optického koeficientu transmise.
The bachelor theses is aimed to the characterizaton of nanostructures by scanning near-field optical microscopy (SNOM). There is a presentation of physical principles of SNOM and the description of the experimental set-up of the microscopy. The experimental part discusses the results of determination of transmission coefficient and characterizaton of the lithography structures prepared by focused ion beam etching method.
Klíčová slova:
blízké pole; evanescentní vlny; rozptyl světla; SNOM; sonda; evanescent waves; light scattering; near-field; probe; SNOM
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/17624