Název: Diagnostika a optimalizace parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci
Překlad názvu: Diagnostics and Optimization of a Wien Filter for Mass Separation of Ions
Autoři: Joch, Vítězslav ; Bábor, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2009
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá stanovením základních parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci fokusovaného iontového svazku. Dále se práce zabývá hledáním vhodných provozních parametrů iontového děla pro depozici ultratenkých vrstev iontovým svazkem s nově zabudovaným filtrem. Součástí práce je také návrh a realizace Faradayovy sondy pro měření proudových profilů fokusovaného iontového svazku. This bachelor thesis deals with measurement of the basic parameters of Wien filter for mass separation of ion focused beam. One part of the thesis is finding the right operational parameters of the ion gun for deposition of ultra-thin films with redesigned Wien filter. The next part of the thesis deals with a design and realization of a Faraday cup for measurement of the current density profiles of the focused ion beam.
Klíčová slova: Faradayova sonda; iontový svazek; profil proudové hustoty; Wienův filtr; current density profile; Faraday cup; ion beam; Wien filter

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/4757

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-210962


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce