Název:
SMV-2013-23: Vypracování a ověření metodiky fyzikální realizace optických tenkých vrstev metodou elektronového napařování
Překlad názvu:
SMV-2013-23: Design and production feasibility study of various filters production by means of electron beam evaporation
Autoři:
Pokorný, Pavel ; Oulehla, Jindřich Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2013
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Posouzení a analýza spektrálních vlastností systému tenkých vrstev a výzkum a modelování možností realizace optických filtrů splňujících zadané spektrální vlastnosti a následné ověření teoretických úvah depozicí vzorků metodou napařování elektronovým svazkem a ověření reprodukovatelnosti.Analysis of spectral properties of thin layer coatings and a feasibility study to determine the possibility of production of filters with desired spectral properties. Subsequent verification of the theoretical modelling by thin layer coating production by means of electron beam evaporation and verification of reproducibility. In particular various lowpass, highpass and bandpass filters and photodetector sensitivity correction filters are studied.
Klíčová slova:
e-beam evaporation; multilayer coatings; thin film coatings
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0231990