Název: Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University
Autoři: Mikulík, P. ; Humlíček, J. ; Hovorka, Miloš ; Kulha, P. ; Kadlec, F.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Physics at Nanoscale. IUVSTA International Summer School /10./, Devět skal (CZ), 2012-05-30 / 2012-06-04
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: Masaryk University is operating a clean room laboratory for silicon device technology since April 2007. The laboratory has been designed in partnership with ON Semiconductor Czech Republic. The University covered the construction costs and the company provided guidance during zhe design and construction of the clean rooms and managed supply, installation and start-up of the technology equipment.
Klíčová slova: clean room laboratory; education and research; silicon device technology
Zdrojový dokument: Physic and Nanoscale. (Proceedings of the 10th IUVSTA International Summer School ), ISBN 978-80-260-0619-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0215746

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-136012


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference