keywords:"termální svazky atomů kyslíku" - Search Results - Digital Repository

guest :: login Digital Repository
		Search		Submit		Help		About

Home > Search Results: keywords:"termální svazky atomů kyslíku"

Search:

Search Tips :: Advanced Search

Search collections:

Sort by:	Display results:	Output format:

	Design of the new type of thermal atomic source for oxygen atoms Šikula, Marek ; Bábor, Petr (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) Ultrathin oxid layers (especially high-k layers) are studied and fabricated by using atomic oxygen sources. These high-k ultrathin layers are integrated into CMOS transistors and DRAM capacitors. In this thesis theory of atomic oxygen beams and ways of theirs creation is summarized. On the basis of the obtained knowledge the engineering design of a unique type of the thermal atomic oxygen source is created. The design was tested by simple experiments. The 3D model and complete engineering drawings are included. Detailed record
	Application of oxygen atomic beams Mikerásek, Vojtěch ; Čech, Vladimír (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) V diplomové práci je popsán návrh, konstrukce a testování termálního zdroje svazku atomárního kyslíku, který je určen k růstu tenkých oxidových vrstev v podmínkách ultra vysokého vakua. První kapitola pojednává o teorii spjaté s termální disociací a tvorbou atomárních svazků. Dále jsou uvedeny hlavní typy zdrojů svazků atomárního kyslíku a jeho aplikace. Experimentální část je věnována samotnému návrhu zařízení, konstrukci a jeho složení. V poslední část je popsáno testování vlivu atomárního kyslíku na vznik oxidových vrstev (stechiometricky Ga2O3) na nanokapičkách Ga na křemíkovém substrátu připraveného molekulární svazkovou epitaxí. Chemické složení a morfologie připravených nanostruktur jsou zkoumány metodou XPS, SEM a TEM. Detailed record
	Design of the new type of thermal atomic source for oxygen atoms Šikula, Marek ; Bábor, Petr (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) Ultrathin oxid layers (especially high-k layers) are studied and fabricated by using atomic oxygen sources. These high-k ultrathin layers are integrated into CMOS transistors and DRAM capacitors. In this thesis theory of atomic oxygen beams and ways of theirs creation is summarized. On the basis of the obtained knowledge the engineering design of a unique type of the thermal atomic oxygen source is created. The design was tested by simple experiments. The 3D model and complete engineering drawings are included. Detailed record

Interested in being notified about new results for this query?
Subscribe to the RSS feed.

Digital Repository :: :: :: ::
Powered by v1.1.2
Maintained by

This site is also available in the following languages:
Česky English