Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Světelný kolektor pro vzdušnou fluorescenci a také pro rozptyl záření na nečistotách křemíkových desek
Palatka, Miroslav ; Schovánek, Petr ; Hrabovský, Miroslav ; Nožka, Libor ; Řídký, Jan ; Boháčová, Martina
Vzdušná fluorescence je definována počtem fotonů produkovaných nabitými částicemi vzduchu. Je zde prezentován jednoduchý světelný kolektor pro laboratorní analýzu tohoto fluorescenčního signálu. Na příkladu systému Surfscan 4500 (KLA-Tencor) je ukázána podobnost mezi jeho kolektivním systémem a kolektivním systémem pro fluorescenci.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.