|
|
Tenkovrstvé systémy
Kuchařík, Jan ; Máca, Josef (oponent) ; Zatloukal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu.
|
|
|
Optimalizace tvorby tenkých vrstev kovových materiálů
Čejka, Marek ; Kadlec, Michal (oponent) ; Šubarda, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací tvorby tenkých vrstev kovových materiálů. V rámci teoretické části byl zpracován přehled realizace tvorby tenkovrstvé struktury, zejména pomocí vakuových technik. Chemické a fyzikální depozice. Byly popsány metody předúprav tenkých vrstev. Na závěr byly rozebrány metody kontroly předupraveného povrchu, kontroly kvality pokovení a vzájemné přilnavosti vrstev. V experimentální části byly zvoleny metody předúprav a aplikovány na vybrané substráty. Předúpravy byly vyhodnoceny pomocí kontroly povrc hu metodou smáčecích úhlů a metodou mikroskopie atomárních sil. Poté byla vytvořena kovová struktura mědi na předupravených substrátech. Realizace byla provedena pomocí magnetronového naprašování. Přilnavost vrstev byla kontrolována pomocí zkoušky povrchu mříţkovou metodou. Kvalita byla pozorovaná skenovací elektronovou mikroskopií. Výsledky byly pouţity pro návrh technologického postupu vytváření kovových vrstev.
|
|
|
Pokovování polyetylentereftalátu mědí a realizace vodivých struktur
Chmela, Ondřej ; Zatloukal, Miroslav (oponent) ; Starý, Jiří (vedoucí práce)
Obsahem této diplomové práce jsou metody předúprav a pokovování povrchu PET pro vytvoření měděné vodivé struktury a kontrolou kvality. Součástí je teoretický rozbor metod těchto metod. V teoretické části jsou rozebrány techniky chemické a fyzikální předúpravy povrchu, metody zvodivění povrchu substrátu, následného pokovení galvanickou mědí, zkoušky kontroly kvality pokovení a vzájemné přilnavosti vrstev. V experimentální části byly vybrány dvě metody předúprav a aplikovány na povrch polymerního materiálu. Vlastnosti předúprav byly vyhodnocovány pomocí metody mikroskopie atomárních sil a zjišťováním povrchové energie kontaktním úhlem smáčení. Dále jsme metodou katodového naprašování vytvořili vodivou vrstvu mědi, kterou následně galvanicky zesílíme. Přilnavost vrstev je kontrolována hlavně vrypovou zkouškou, ale i jinými metodami. Výsledky těchto dílčích operací budou použity pro realizaci vícevrstvé vodivé struktury.
|
|
|
Vakuové technologie pro vytváření tenkovrstvých systémů
Kuchařík, Jan ; Šafl, Pavel (oponent) ; Zatloukal, Miroslav (vedoucí práce)
Teoretická část této práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev vakuovými metodami. Jedná se o chemickou a fyzikální depozici z plynné fáze v pracovním prostředí vakua. Chemická depozice probíhá za zvýšených teplot, které urychlují reakce. Fyzikální depozice je nejčastěji jen kondenzací par odpařeného materiálu. Fyzikálními metodami je vakuové napařování, a dále katodové, iontové, reaktivní a magnetronové naprašování. Tvorba tenkých vrstev probíhá dle 3 známých mechanismů. Substráty je před depozičním procesem nutné povrchově upravit. Kvalita tenkých vrstev se zkoumá z několika hledisek. Difuze a její mechanismy, faktory ovlivňující difuzi a Fickovy zákony. Praktická část je věnována výrobě tenkovrstvého systému mědi a cínu na skleněném substrátu. Tyto vrstvy jsou odděleny třemi různými bariérovými kovy. Následně byly zhotovené vzorky vystaveny tepelnému namáhání a posléze sledovány elektronovým mikroskopem.
|
|
|
Vakuové technologie pro vytváření tenkovrstvých systémů
Kuchařík, Jan ; Šafl, Pavel (oponent) ; Zatloukal, Miroslav (vedoucí práce)
Teoretická část této práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev vakuovými metodami. Jedná se o chemickou a fyzikální depozici z plynné fáze v pracovním prostředí vakua. Chemická depozice probíhá za zvýšených teplot, které urychlují reakce. Fyzikální depozice je nejčastěji jen kondenzací par odpařeného materiálu. Fyzikálními metodami je vakuové napařování, a dále katodové, iontové, reaktivní a magnetronové naprašování. Tvorba tenkých vrstev probíhá dle 3 známých mechanismů. Substráty je před depozičním procesem nutné povrchově upravit. Kvalita tenkých vrstev se zkoumá z několika hledisek. Difuze a její mechanismy, faktory ovlivňující difuzi a Fickovy zákony. Praktická část je věnována výrobě tenkovrstvého systému mědi a cínu na skleněném substrátu. Tyto vrstvy jsou odděleny třemi různými bariérovými kovy. Následně byly zhotovené vzorky vystaveny tepelnému namáhání a posléze sledovány elektronovým mikroskopem.
|
|
|
Tenkovrstvé systémy
Kuchařík, Jan ; Máca, Josef (oponent) ; Zatloukal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu.
|
|
|
Optimalizace tvorby tenkých vrstev kovových materiálů
Čejka, Marek ; Kadlec, Michal (oponent) ; Šubarda, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací tvorby tenkých vrstev kovových materiálů. V rámci teoretické části byl zpracován přehled realizace tvorby tenkovrstvé struktury, zejména pomocí vakuových technik. Chemické a fyzikální depozice. Byly popsány metody předúprav tenkých vrstev. Na závěr byly rozebrány metody kontroly předupraveného povrchu, kontroly kvality pokovení a vzájemné přilnavosti vrstev. V experimentální části byly zvoleny metody předúprav a aplikovány na vybrané substráty. Předúpravy byly vyhodnoceny pomocí kontroly povrc hu metodou smáčecích úhlů a metodou mikroskopie atomárních sil. Poté byla vytvořena kovová struktura mědi na předupravených substrátech. Realizace byla provedena pomocí magnetronového naprašování. Přilnavost vrstev byla kontrolována pomocí zkoušky povrchu mříţkovou metodou. Kvalita byla pozorovaná skenovací elektronovou mikroskopií. Výsledky byly pouţity pro návrh technologického postupu vytváření kovových vrstev.
|
|
|
Pokovování polyetylentereftalátu mědí a realizace vodivých struktur
Chmela, Ondřej ; Zatloukal, Miroslav (oponent) ; Starý, Jiří (vedoucí práce)
Obsahem této diplomové práce jsou metody předúprav a pokovování povrchu PET pro vytvoření měděné vodivé struktury a kontrolou kvality. Součástí je teoretický rozbor metod těchto metod. V teoretické části jsou rozebrány techniky chemické a fyzikální předúpravy povrchu, metody zvodivění povrchu substrátu, následného pokovení galvanickou mědí, zkoušky kontroly kvality pokovení a vzájemné přilnavosti vrstev. V experimentální části byly vybrány dvě metody předúprav a aplikovány na povrch polymerního materiálu. Vlastnosti předúprav byly vyhodnocovány pomocí metody mikroskopie atomárních sil a zjišťováním povrchové energie kontaktním úhlem smáčení. Dále jsme metodou katodového naprašování vytvořili vodivou vrstvu mědi, kterou následně galvanicky zesílíme. Přilnavost vrstev je kontrolována hlavně vrypovou zkouškou, ale i jinými metodami. Výsledky těchto dílčích operací budou použity pro realizaci vícevrstvé vodivé struktury.
|
host ::
RSS.