|
|
Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM
Černoch, Pavel ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá detekcí signálů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu a využitím tohoto detektoru pro získání požadované informace v obraze vzorku. Hlavní pozornost je zaměřena na detektor, jenž obsahuje více elektrod o různém geometrickém uspořádání a napětí na těchto elektrodách, nazvaný segmentový ionizační detektor. Spolu s teoretickým zázemím z odborné literatury byly prostřednictvím simulací na počítači a experimentů v mikroskopu zjišťovány možnosti detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem. Na základě provedených experimentů byl segmentový ionizační detektor optimalizován pro zkvalitnění detekce sekundárních elektronů a v jiné konfiguraci optimalizován pro získání vysokého materiálového kontrastu v obraze vzorku. Posouzení přínosu experimentovaných segmentových ionizačních detektorů je součástí práce.
|
|
|
Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM
Černoch, Pavel ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá detekcí signálů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu a využitím tohoto detektoru pro získání požadované informace v obraze vzorku. Hlavní pozornost je zaměřena na detektor, jenž obsahuje více elektrod o různém geometrickém uspořádání a napětí na těchto elektrodách, nazvaný segmentový ionizační detektor. Spolu s teoretickým zázemím z odborné literatury byly prostřednictvím simulací na počítači a experimentů v mikroskopu zjišťovány možnosti detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem. Na základě provedených experimentů byl segmentový ionizační detektor optimalizován pro zkvalitnění detekce sekundárních elektronů a v jiné konfiguraci optimalizován pro získání vysokého materiálového kontrastu v obraze vzorku. Posouzení přínosu experimentovaných segmentových ionizačních detektorů je součástí práce.
|
|
|
Optimalizace detekce sekundárních elektronů segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním REM
Černoch, P. ; Jirák, Josef
Článek se zabývá prezentací výsledků optimalizace detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Ionizační detektory mající různé geometrie elektrod a různá napětí na těchto elektrodách, tzv. segmentové ionizační detektory, jsou prezentovány jako možnost k dosažení požadovaných kontrastů v obraze vzorku. Snímky v této práci získané několika detektory demonstrují detekci různých typů elektronů s využitím vzorku obsahující tenké povrchové vrstvy a vzorku vyrobeného k měření materiálového kontrastu.
|
|
|
Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem
Černoch, P. ; Jirák, Josef
Článek se zabývá detekcí signálu segmentovým ionizačním detektorem. Jsou studovány změny kontrastů mikrosnímku v závislosti na odlišných potenciálech na elektrodách segmentového ionizačního detektoru. Součástí experimentu jsou simulace drah elektronů v elektrostatických polích detektorů vyhotovené v programu Simion 3D 7.0.
|
|
|
Detekce signálu použitím segmantového ionizačního detektoru
Jirák, Josef ; Černoch, P. ; Autrata, Rudolf
K detekci signálních elektronů v environmentálních podmínkách se často používá detektor, který využívá srážkovou ionizaci v plynném prostředí vzorkové komory. Elektrostatické pole vytvořené v prostoru mezi uzemněným vzorkem a detektorovou elektrodou poskytuje energii potřebnou pro účinnou ionizaci sekundárních elektronů. Napětí několik stovek voltů je připojeno k detektorové elektrodě. Byl navržen elektrodový systém ionizačního detektoru s několika soustřednými elektrodami, rozdělenými do dvou polovin-pravá a levá. Bylo ukázáno, že vyšší průměr elektrod přináší zvýšený příspěvek zpětně odražených elektronů k detekovanému signálu. Rozdílné kontrastní mechanizmy byly studovány
|
host ::
RSS.