| |
|
Měření tloušťky vrstev
Záhorský, Zbyněk ; Macho, Tomáš (oponent) ; Beneš, Petr (vedoucí práce)
Tato práce popisuje metody měření tenkých vrstev na kovových a nekovových materiálech. Popisuje problematiku jednotlivých metod a jejich fyzikální principy. Zabývá se nejnovějšími technologiemi (SIDSP), které by měli nahradit analogové měřící systémy používající magneticko-indukční metodu a metodu s vířivými proudy. Jsou v ní popsány výhody destruktivních mikroskopických metod, nedestruktivních ultrazvukových metod a jejich porovnání. Závěr práce je věnován experimentálnímu měření tloušťky tenkých vrstev a jeho statistickému zpracování.
|
|
Měření tloušťky vrstev
Záhorský, Zbyněk ; Macho, Tomáš (oponent) ; Beneš, Petr (vedoucí práce)
Tato práce popisuje metody měření tenkých vrstev na kovových a nekovových materiálech. Popisuje problematiku jednotlivých metod a jejich fyzikální principy. Zabývá se nejnovějšími technologiemi (SIDSP), které by měli nahradit analogové měřící systémy používající magneticko-indukční metodu a metodu s vířivými proudy. Jsou v ní popsány výhody destruktivních mikroskopických metod, nedestruktivních ultrazvukových metod a jejich porovnání. Závěr práce je věnován experimentálnímu měření tloušťky tenkých vrstev a jeho statistickému zpracování.
|
| |