|
Epitaxní růst z kapalné fáze
Nohavica, Dušan
Poměrně rozsáhlá přednáška shrnuje základní aspekty přípravy epitaxních vrstev z kapalné fáze (LPE), s důrazem ne deposici polovodičů. Jsou uvedeny způsoby dosažení maximální reprodukovatelnosti růstového procesu a účinnosti deposice. Důraz je rovněž kladen na rozbor mechanizmů tvorby dislokací v epitaxních vrstvách.
|
|
Physical properties of InP epitaxial layers prepared with dysprosium admixture
Grym, Jan ; Procházková, Olga
Physical properties of commonly prepared InP layers grown by LPE technique and those grown from Dy treated melt are compared. The layers were examined by SEM, low temperature PL spectroscopy, C-V measurements and temperature dependent Hall effect. Structural, electrical and optical properties of InP layers exhibit a significant dependence on the presence of Dy and its concentration in the melt. When increasing the concentration of Dy the reversal of electrical conductivity occurs.
|
| |
| |
| |
| |
| |