|
|
Elektrické vlastnosti tlustovrstvých past měřené v širokém rozsahu teplot
Gajdoš, Jiří ; Jankovský, Jaroslav (oponent) ; Řezníček, Michal (vedoucí práce)
Cílem této diplomové práce je prověřit elektrické vlastnosti různých tlustovrstvých odporových past v širším intervalu teplot. Práce se především zaměřuje na změnu elektrického odporu v závislosti na teplotách, které zasahují i do kryogenní oblasti. Pro dosažení tohoto cíle je zde uveden přehled vlastností tlustovrstvé technologie, její základní technologické postupy, dále jsou zde uvedeny principy vodivosti odporových past, metody měření elektrického odporu, možné chyby při měření a způsoby jejich minimalizace. Obsahem práce je také seznámení s vlastnostmi kryogenní stanice, na jejichž základech byl navrhnut postup měření a vytvořeny tlustovrstvé obvody umožňující měření v této stanici. Po provedení měření, které proběhlo v intervalu 10 K až 350 K, jsou zde následně vyhodnoceny získaná data a vysvětleny možné principy vodivosti použitých odporových past.
|
|
|
Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur
Skladaný, Roman ; Mach, Jindřich (oponent) ; Páleníček, Michal (vedoucí práce)
V této bakalářské práci je představeno konstrukční řešení ochrany objektivu ultra vakuového rastrovacího elektronového mikroskopu (UHV SEM), který je součástí komplexní modulární UHV aparatury používané k tvorbě, pozorování a charakterizaci nanostruktur. Jsou vysvětleny hlavní fyzikální a technické principy fungování zařízení UHV SEM. Dále je popsána adaptace efuzní cely používané ke tvorbě ultratenkých vrstev v aparatuře UHV SEM. V další části práce je navrženo konstrukční řešení clony redukující ohřívání a kontaminaci objektivu při in situ růstu a pozorování nanostruktur. V případě chlazení vzorku na kryogenní teploty lze clonou objektivu také chránit vzorek před tepelným zářením z okolí.
|
|
|
Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur
Skladaný, Roman ; Mach, Jindřich (oponent) ; Páleníček, Michal (vedoucí práce)
V této bakalářské práci je představeno konstrukční řešení ochrany objektivu ultra vakuového rastrovacího elektronového mikroskopu (UHV SEM), který je součástí komplexní modulární UHV aparatury používané k tvorbě, pozorování a charakterizaci nanostruktur. Jsou vysvětleny hlavní fyzikální a technické principy fungování zařízení UHV SEM. Dále je popsána adaptace efuzní cely používané ke tvorbě ultratenkých vrstev v aparatuře UHV SEM. V další části práce je navrženo konstrukční řešení clony redukující ohřívání a kontaminaci objektivu při in situ růstu a pozorování nanostruktur. V případě chlazení vzorku na kryogenní teploty lze clonou objektivu také chránit vzorek před tepelným zářením z okolí.
|
|
|
Elektrické vlastnosti tlustovrstvých past měřené v širokém rozsahu teplot
Gajdoš, Jiří ; Jankovský, Jaroslav (oponent) ; Řezníček, Michal (vedoucí práce)
Cílem této diplomové práce je prověřit elektrické vlastnosti různých tlustovrstvých odporových past v širším intervalu teplot. Práce se především zaměřuje na změnu elektrického odporu v závislosti na teplotách, které zasahují i do kryogenní oblasti. Pro dosažení tohoto cíle je zde uveden přehled vlastností tlustovrstvé technologie, její základní technologické postupy, dále jsou zde uvedeny principy vodivosti odporových past, metody měření elektrického odporu, možné chyby při měření a způsoby jejich minimalizace. Obsahem práce je také seznámení s vlastnostmi kryogenní stanice, na jejichž základech byl navrhnut postup měření a vytvořeny tlustovrstvé obvody umožňující měření v této stanici. Po provedení měření, které proběhlo v intervalu 10 K až 350 K, jsou zde následně vyhodnoceny získaná data a vysvětleny možné principy vodivosti použitých odporových past.
|
host ::
RSS.