|
Optimalizace iontového zdroje typu Colutron
Horký, Michal ; Mach, Jindřich (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá návrhem a konstrukcí iontového děla typu Colutron, který vytváří svazek iontů dusíku o energii od desítek až po tisíce eV. V první části práce je stručně popsána problematika tvorby iontů a princip fungování iontového zdroje. Druhá část je věnována úpravě komerčního iontového zdroje americké společnosti Colutron a jeho kompletaci. Parametry iontového svazku pro různé tvary extrakčních elektrod a hodnot provozních parametrů byly experimentálně ověřeny v testovací aparatuře.
|
| |
|
Modifikace tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem.
Faltýnek, Petr ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Cílem diplomové práce je studium problematiky fokusovaných iontových svazků a jejich vlivu na substráty. Jsou zde popsány interakce probíhající ve vzorku po dopadu iontového svazku, využití a aplikace metody FIB. Další část práce tvoří počítačové simulace vlivu iontů na různé druhy substrátu pomocí programů SRIM.
|
|
Optimalizace iontového zdroje typu Colutron
Horký, Michal ; Mach, Jindřich (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá návrhem a konstrukcí iontového děla typu Colutron, který vytváří svazek iontů dusíku o energii od desítek až po tisíce eV. V první části práce je stručně popsána problematika tvorby iontů a princip fungování iontového zdroje. Druhá část je věnována úpravě komerčního iontového zdroje americké společnosti Colutron a jeho kompletaci. Parametry iontového svazku pro různé tvary extrakčních elektrod a hodnot provozních parametrů byly experimentálně ověřeny v testovací aparatuře.
|
| |