|
|
Charakterizace a eliminace termomechanických vlivů v interferometrickém měření délky
Řeřucha, Šimon ; Holá, Miroslava ; Lazar, Josef ; Mikel, Břetislav ; Číp, Ondřej
Neustálé úsilí o rozvoj měření rozměrů v nano- i makroměřítku stále přináší výzvy v oblasti rozšíření velmi přesných měřicích postupů z dobře kontrolovaného experimentálního prostředí s typicky jednorázovým měřicím cyklem na výrobní prostředí s konstantním zatížením. V oblasti laserové interferometrie, která jest jak základním kamenem metrologie délky obecně tak nezbytnou součástí nanometrologie, jsme se zaměřili na dlouhodobou stabilitu měření (tzv. zero-drift) v měřicích scénářích a aplikacích založených na (převážně laserové) interferometrii. Dobře charakterizovaný a kompenzovaný zero-drift měřicí v takové aplikaci nabývá na významu jednak s použitím v prostředí s méně kontrolovaným prostředím a jednak s rostoucím časovým rámcem měření, jako například dlouhá skenování v mikroskopické nanometrologii, dlouhé expozice v elektronové litografii nebo kalibrace s interferometrickou referencí s větším počtem kalibračních bodů nebo opakování. Cílem současného výzkumného úsilí je komplexní zkoumání chybových vlivků a příspěvků k nejistotě měření v souvislosti se zero-driftem v aplikacích založených na laserové interferometrii se zvláštním zaměřením na teplotní vlivy (protože ty se obvykle jeví jako dominantní příspěvek) a přístupy k jejich potlačení. Toto úsilí zahrnuje několik vzájemně se doplňujících se směrů.
|
|
|
Systém pro skenování spektrálních čar kyanovodíku (H13C14N)
Hošek, Martin ; Řeřucha, Šimon ; Hrabina, Jan ; Čížek, Martin ; Pravdová, Lenka ; Číp, Ondřej
Definice jak metru, tak sekundy stojí na přesně měřené frekvenci. Vhodným zdrojem takovéto frekvence jsou lasery stabilizované na molekulární páry, přičemž He-Ne lasery stabilizované na páry jódu představují stavební kámen mezi zdroji stabilní frekvence ve viditelném spektru. Na druhou stranu infračervená část spektra (především v 1550 nm C-pásmu) je z metrologického pohledu zajímavá díky levným a široce dostupným komponentům. Široce užívaným absorpčním médiem na 1550 nm jsou izotopy acetylenu (12C2H2, 13C2H2), zatímco H13C14N představuje alternativu, která pokrývá širší část spektra, a navíc velmi dobře koresponduje s telekomunikačním C-pásmem. 2ν3 rotačně-vibrační pásmo bylo již dříve zkoumáno, v důsledku použití ne tak přesných metod jsou ovšem dostupná data méně přesná nežli ta pro acetylen. My prezentujeme metodu, které povede k přesnému proměření kyanovodíkových absorpčních čar s potenciálem pro uvedení HCN do Mise en Pratique, což by znamenalo, že lasery stabilizované na absorpční čáry kyanovodíku budou mezinárodně uznané jako přesný zdroj frekvence pro realizaci laserových etalonů.
|
host ::
RSS.