Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.01 vteřin. 
Sondové diagnostiky plazmatického tryskového systému s dutou katodou pro depozice tenkých vrstev TiO.sub.x./sub..
Virostko, Petr ; Hubička, Zdeněk ; Kment, Štěpán ; Adámek, Petr ; Jastrabík, Lubomír ; Tichý, M.
Sondové diagnostické metody byly použity k určení parametrů plazmatu nízkotlakého nízkoteplotního plazmatického tryskového systému s efektem duté katody, používaného pro depozice tenkých vrstev TiOx. Pomocí Langmuirovy sondy byla získána rozdělovací funkce elektronů, koncentrace elektronů a jejich efektivní teploty pro různé pracovní podmínky. Získané parametry byly porovnány s měřením proudu kladných iontů na depoziční substrát s negativní predpětím. Na substrát bylo přivedeno pulzní DC nebo radiofrekvenční napětí.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.