Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 2 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Seďa, Bohuslav
Práce se zabývá studiem vzniku a vlastností vlnově optických kontrastů v rastrovacím elektronovém mikroskopu s pomalými elektrony.
Characterization of rainbowlike hanze on (111) Si wafers
Seďa, Bohuslav ; Englišová, V.
Silicon single crystals used in microelectronic industry are mostly grownin crystalline orientations (111) or (100). These crystals are processed to polished wafers by several technological steps. The first one is their cutting. The crystals in crystalline orientation (111) are usually cut with off-orientation up to 4 degrees of (111) crystalline plane. Only wafers for some special applications are cut with zero off-orientation. A specialoptical feature of polished surface of (111) silicon wafers cut with zerooff-orientation is presentsed in this paper.

Viz též: podobná jména autorů
1 Šedá, Barbora
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.