|
| |
|
| |
|
|
Leptání SiO2 pomocí depozice Si
Pokorný, David ; Bábor, Petr (oponent) ; Polčák, Josef (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá jednou z nejzajímavějších reakcí probíhajících v pevné fázi v UHV podmínkách, a to rozkladem SiO2 podle rovnice Si + SiO2 = 2SiO. Využívá dosud nevyzkoušený postup - dodání Si atomů nikoli ze substrátu, ale přímou depozicí na povrch oxidu. Jako zdroj křemíkových atomů byla použita efuzní cela. K objasnění principu této reakce bylo využito jak depozice křemíku na SiO2 substrát za pokojové teploty, tak za zvýšené teploty. Byla stanovena aktivační energie a teplotní závislost rychlosti této reakce. Také byla ověřena možnost leptání SiO2 pomocí depozice Si za UHV podmínek. Připravené vzorky byly zkoumány pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie a mikroskopie atomárních sil.
|
|
|
Correlative tomography
Vařeka, Karel ; Touš,, Jan (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
The presented master’s thesis deals with a correlative approach towards multiscale and multimodal analysis of through-silicon-via structures. The research is part of an international project concerning a failure characterization of said structures and implemented semiconductor devices. Correlative microscopy and tomography techniques of NanoXCT, FIB-SEM (EDS), FIB-SIMS, and AFM were proposed to establish a workflow of measurements. Focused ion beam tomography is a method of precise serial sectioning and obtaining valuable high-resolution images (FIB-SEM) or chemical composition maps (FIB-SIMS) at each cross-section. The following image registration shows the possibility of identifying defects as a function of structure depth. Additionally, the thesis outlines methods of image fusion of high-resolution and spectral images to most appropriately demonstrate the obtained data.
|
|
| |
|
|
Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování
Páleníček, Michal ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena na popis stávající depoziční komory a její princip. Největší část práce se zabývá popisem návrhů aparatury pro zakládání vzorků. První návrh, od kterého se opustilo, je popsán jen stručně, u druhého návrhu jsou rozepsány jednotlivé kroky a řešení. V práci je i jednoduchý návod na zakládání vzorků. Na závěr jsou prezentovány výsledky simulací chladícího sytému vzorků a průhybu magnetické tyče.
|
|
|
Analýza pokročilých materiálů a struktur metodou SIMS
Holeňák, Radek ; Kalousek, Radek (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá studiem pokročilých materiálů metodou SIMS a možnostem kvantitativní analýzy pomocí dat získaných z měření. Byla provedena chemická analýza povrchu keramiky s cílem optimalizace podmínek měření. Zbytek práce využívá datový výstup z měření pro popsání vnitřní mikrostruktury materiálu. Pomocí sofistikovaných metod jsou lokalizovány a popsány Si precipitáty ve vrstvě AlSi a ověřena formace fáze MgAl2O4 ve vzorcích keramiky. Dosažení všech stanovených cílů odhaluje potenciál metody SIMS a především možnosti ve zpracování datového výstupu z měření.
|
|
|
Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM
Axman, Tomáš ; Pavera, Michal (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá konstrukcí a následným testováním nosiče vzorků umožňující ohřev, chlazení a měření teploty vzorku a zásobníku vzorků pro vysokovakuovou aparaturu skenovacího elektronového mikroskopu, který je vyvíjen ve spolupráci s firmou Tescan. Teoretická část se zabývá rešeršní studií v současnosti používaných nosičů vzorků pro UHV a zhodnocení jejich pozitiv a negativ. Pojednáno je také o vhodnosti použití některých materiálů. Experimentální část popisuje samotnou konstrukci receptoru paletek s ohledem na nutný počet elektrických kontaktů pro měření elektrických vlastností vzorků a kompatibilitu s UHV. Následuje samotné měření a testování vyrobeného funkčního vzorku receptoru paletek jak při nízkých tak při vysokých teplotách.
|
|
|
Návrh aparatury pro VF plasmové leptání
Bárdy, Stanislav ; Bábor, Petr (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy generovania plazmového výboja a návrh VF elektrického obvodu. Praktická časť sa zaoberá samotnou konštrukciou aparatúry a vyrovnávacej jednotky, optickou diagnostikou plazmového výboja a meraním parametrov leptania PMMA (rýchlosť leptania, drsnosť) použitím spektroskopickej reflektometrie a mikroskopie atomárnych síl.
|
|
|
Electron tweezer
Štubian, Martin ; Šik, Ondřej (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
This work deals with a new way of manipulating micro and nano objects, specifically liquid AuGe islands by using an electron beam. In the first part, the mechanism of manipulation is discussed, the principle is described and then are shown experiments and simulations which are confirming this principle. The second part of the work deals with the use of this manipulation in fabrication of micro / nano structures.
|
host ::
RSS.