|
|
Combined scintillation and ionisation detectors for environmental scanning electron microscopes
Romanovský, Vladimír ; Autrata, Rudolf
One of the recent directions in the field of scanning electron microscopy deals with observation of specimens at higher pressures in the specimen chamber. Owing to the presence of the gaseous medium, charging effects are suppressed for specimens of insulation character, and at the same time the observation of biological specimens without their prior treatment is made possible. The constructed combined scintillation and ionisation detector extends the applications of these microscopes and enables copmarison of behaviour and properties of both detectors.
|
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Elektrostatický nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop pro Augerovu analýzu
Romanovský, V. ; El Gomati, M. M. ; Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona
Byl realizován rastrovací nízkoenergiový elektronový mikroskop (SLEEM) s katodovou čočkou, v níž jako katoda slouží vzorek připojený na záporný potenciál. V tomto uspořádání procházejí elektrony mikroskopem s vysokou energií a na nízkou energii jsou bržděny těsně před svým dopadem na vzorek. Takový systém zajišťuje vysokou úroveň signálu dokonce i při energiích dopadu v desítkách nebo jednotkách eV. Používání primárních elektronů o nízké energii přináší mnohé problémy, jako např. nízký jas zdroje, zvětšené zobrazovací vady a citlivost k rušivým polím. Rastrovací Augerova mikroskopie (SAM) je dobře zavedenou experimentální metodou. Kombinace SAM a SLEEM v jediném zařízení by tedy představovala nástroj postačující k vyřešení problémů, s nimiž se tyto metody potýkají jednotlivě. Ačkoliv již bylo mnohé vykonáno na poli detekce pomalých elektronů, žádná z metod známých v současnosti není způsobilá k zabudování do rastrovacího osvětlovacího tubusu pro analytickou Augerovu mikrosondu
|
host ::
RSS.