|
|
In-situ charakterizace polovodičů pomocí technik rastrující sondové mikroskopie
Očkovič, Adam ; Pléha, David (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Diplomová práce se zaměřuje na analýzu polovodičových součástek pomocí rastrovací sondové mikroskopie. V první části jsou krystalické látky rozděleny dle elektrických vlastností. Poté je uvedena teorie vlastních a nevlastních polovodičů, PN přechod a nakonec jsou představeny základní typy a funkce tranzistorů. Ve druhé kapitole jsou uvedeny techniky SPM a jejich principy fungování, které jsou vhodné pro poruchovou analýzu polovodičových součástek. Ve třetí kapitole je představena měřící sestava, která se skládá z rastrovacího elektronového mikroskopu MIRA a rastrovacího sondového mikroskopu LiteScope, který využívá samosnímací sondy. Ve čtvrté kapitole jsou představeny polovodičové vzorky, kterými byly wolframové prokovy v řezu CMOS čipu, řez bipolárním tranzistorem a lamela unipolárního tranzistoru MOSFET. Na těchto vzorcích byla v poslední kapitole provedena analýza technikami AFM, CAFM, EFM, KPFM a SSRM. U každé techniky a vzorku byla provedena analýza změřených dat. Společně s technikami byly představeny základní omezení a zajímavé výstupy pro poruchovou analýzu.
|
|
|
Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů
Očkovič, Adam ; Vařeka, Karel (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce je zaměřena na úpravu sond s integrovaným senzorem využitelných pro měření vodivostních charakteristik povrchů v mikroskopii atomárních sil. V první části je uvedena teorie týkající se mikroskopie atomárních sil, vodivostního měření a depozice pomocí iontového svazku. Dále je zde popsán způsob výroby a limitace použití elektricky vodivých sond s opticky čtenou výchylkou. V praktické části jsou uvedeny hlavní problémy sond s integrovanými senzory při vodivostním měření. Dále je popsána samotná úprava sond, provedené měření s těmito sondami a návrhy pro zlepšení vlastností sond.
|
|
|
Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů
Očkovič, Adam ; Vařeka, Karel (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce je zaměřena na úpravu sond s integrovaným senzorem využitelných pro měření vodivostních charakteristik povrchů v mikroskopii atomárních sil. V první části je uvedena teorie týkající se mikroskopie atomárních sil, vodivostního měření a depozice pomocí iontového svazku. Dále je zde popsán způsob výroby a limitace použití elektricky vodivých sond s opticky čtenou výchylkou. V praktické části jsou uvedeny hlavní problémy sond s integrovanými senzory při vodivostním měření. Dále je popsána samotná úprava sond, provedené měření s těmito sondami a návrhy pro zlepšení vlastností sond.
|
host ::
RSS.