|
|
Návrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomů
Šikula, Marek ; Bábor, Petr (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Pomocí atomárních zdrojů kyslíku se vyrábí a studují ultratenké oxidové vrstvy, především tzv. high-k vrstvy. Ty jsou základem CMOS tranzistorů a DRAM kondenzátorů. Tato práce zpracovává teorii atomárních svazků kyslíku a způsoby jejich získání. Na základě těchto podkladů je vytvořen konstrukční návrh unikátního typu disociačního atomárního zdroje kyslíku. Návrh byl testován jednoduchými experimenty. Dale je vypracován 3D model zdroje a kompletní výkresová dokumentace.
|
|
|
Testing of the new UHV scanning electron microscope and design of its effusion cel
Šárközi, Rudolf ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
This work focus on the development and the design of the effusion cell that is able to deposit different materials in downward orientation. The Cell itself should be placed into the ultra-vacuum microscope (UHV-SEM) developed in TESCAN company in the collaboration with Institute of Physical Engineering. Theoretical part is devoted to the description of the electron microscope and its, in the future installed, parts, which will be used for the preparation and the analysis of the nanostructures. In this work, the first measurements with the electron microscope are presented, and the influence of mechanical vibrations to image quality is discussed.
|
|
|
2D a 3D analýza polovodičových struktur metodou SIMS
Vařeka, Karel ; Šamořil, Tomáš (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Chemická analýza polovodičových struktur pomocí metody SIMS je hlavní náplní této bakalářské práce. Umožňuje hloubkové profilování a vytváření 2D či 3D snímků materiálů. Během zkoumání čipu z polovodiče TIGBT dochází k odprašování heterogenní struktury s různou rychlostí odprašování jednotlivých částí. Ukázalo se jako výhodné provést řez tímto vzorkem pomocí fokusovaného iontového svazku tak, aby vznikl profil umožňující provedení tomografického měření. Tato nově vzniklá plocha zaručuje chemickou analýzu profilu polovodičových struktur bez nutnosti odprašování v dynamickém SIMS módu. Rekonstrukcí jednotlivých dvourozměrných snímků lze sestavit 3D obrazec analyzované části vzorku. Byla provedena i příprava a vyjmutí lamely z čipu TIGBT za účelem analýzy detektorem prošlých elektronů.
|
|
|
Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS
Staněk, Jan ; Šik, Ondřej (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá porovnáváním a propojením dvou spektrometrických metod – spektrometrie rozptylu nízkoenergiových iontů (LEIS) a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). Metoda SIMS totiž, přes mnoho pozitivních vlastností, nedokáže potlačit tzv. matricový efekt, který činí kvantifikaci dat velice obtížnou. Vůči tomuto efektu je naopak imunní metoda LEIS, proto je vhodným doplněním metody SIMS. Jako vyhovující vzorek k porovnání byly vybrány vzorky AlGaN o různých koncentracích galia a hliníku. V první části práce je představena fyzikální podstata obou metod, experimentální sestavy a zkoumané vzorky. Ve vlastní části práce jsou pak popsána jednotlivá měření, porovnány data získaná výše zmíněnými metodami.
|
|
|
Complex ion beam based depth profiling of anticorrosive layers
Holeňák, Radek ; Král, Jaroslav (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Presented master’s thesis deals with the implementation of the Particle Induced X-ray Emission method in the experimental setup with the aim to supplement the family of ion beam based techniques, i.e. Rutherford Backscattering Spectrometry, Elastic Backscattering Spectrometry and Time-of-Flight/Energy Elastic Recoil Detection Analysis. The advantage of a multi-method approach is demonstrated on the transition metal alloy films containing light species, where the self-consistent analysis yields significantly improved and accurate information about stoichiometry, depth distribution and thickness of the alloy. Secondary Ion Mass Spectrometry is employed to compare and complement the obtained results.
|
|
|
Mikroobrábění nekovových materiálů elektronovým svazkem
Dupák, Libor ; Mrňa, Libor (oponent) ; Bábor, Petr (oponent) ; Lencová, Bohumila (vedoucí práce)
Práce se zabývá problematikou mikroobrábění elektronovým svazkem s důrazem na nekovové materiály jako sklo, keramika a plasty. Součástí práce je popis zařízení, na kterém byly provedeny experimenty uvedené v této práci a na jehož vývoji se autor v rámci svého doktorského studia podílel. Hlavní důraz je kladen na experimentální studium vlivu jednotlivých parametrů elektronového svazku na výsledek obráběcího procesu. Zkoumané parametry zahrnují urychlovací napětí, proud svazku, zaostření a rychlost obrábění. Je rozebrán vliv vychýlení elektronového svazku. Dále je ukázána metoda postupného obrábění opakovanými průchody elektronového svazku. Hlavní zkoumané materiály jsou křemenné sklo, korundová keramika a vybrané druhy plastů. Použitelnost obrábění elektronovým svazkem je demonstrována na několika aplikacích.
|
|
|
Studium oxidace oxidu uhelnatého na platině pomocí UHV-SEM
Jaroš, Antonín ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce je zaměřená na studium heterogenní katalytické oxidace CO na povrchu platiny, ale také ve stísněném prostoru mezi platinou a vrstvou grafenu. Práce je rozdělena do dvou částí – teoretické a experimentální. V teoretické části jsou obecně vysvětleny důležité principy uplatňující se v rámci této práce, jako je stavba rastrovacího elektronového mikroskopu, růst grafenu, průběh katalytické oxidace CO a oscilační mód této reakce, a v neposlední řadě průběh této reakce pod grafenem. Experimentální část se poté chronologicky zaměřuje na jednotlivé úkoly zadání práce.
|
|
|
Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur
Hakira, Stanli ; Páleníček, Michal (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Ve spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu nanostruktur. Pro komoru byl vyroben držák na vzorky umožňující zahřívání a chlazení vzorku. Na komoře je instalován skenovací elektronový mikroskop sloužící k analytickým a výrobním technikám. V průběhu zahřívaní při dochází k posunu obrazu vzorku vzhledem k tubusu SEMu, což zprůsobuje drift obrazu. Tato bakalářská práce navrhuje kompenzaci teplotního driftu pomocí algoritmu sledujicího polohu pužitím obrazové registrace založené na Fourierově transformaci. Byla navržena a implementována aplikace doplňující ovládací software SEMu, která byla prakticky otestována.
|
|
| |
|
| |
host ::
RSS.