|
|
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) a její aplikace pro výzkum povrchových procesů
Potoček, Michal ; Čech, Vladimír (oponent) ; Pavlík, Jaroslav (oponent) ; Dub, Petr (vedoucí práce)
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) je obecná metoda pro povrchovou analýzu adsorbovaných molekul. Práce se v 1. kapitole zabývá teoretickými základy této metody a ukazuje princip desorpčního procesu ovlivněného podpovrchovou difuzí. Kapitola 2 se nejprve věnuje praktickému využití metody TDS při detekci povrchových molekul a určením vazebné energie. Experimenty byly zaměřeny na detekci povrchových adsorbantů a nečistot na povrchu desek Si. Druhá část této kapitoly se zabývá desorpcí atomů tenkých vrstev Ga a jejich podpovrchovou difuzi. Proces difuze Ga byl také pozorován hmotnostní spektrometrií sekundárních iontů (SIMS) a numericky simulován.
|
|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (oponent) ; Potoček, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is focused on automatization of post-processing and evaluation of thermal desorption spectroscopy (TDS) data. The theoretical part discusses the processes of adsorption and desorption of atoms and molecules on surfaces and the thermal dependence of the latter. This work also provides a quantitative analysis of the measured signal from the instrument. The main objective of the practical part is to create a computer tool for automatization of TDS data evaluation. Description of the program, as well as a user guide, is included in the work. Comprehensive tests of the created program were concluded on previously measured TDS spectra and the kinetic parameters of several samples were determined.
|
|
|
Studium interakce molekul plynů s aktivními povrchy
Kettner, Miroslav ; Nehasil, Václav (vedoucí práce) ; Johánek, Viktor (oponent)
Název práce: Studium interakce molekul plynů s aktivními povrchy Autor: Miroslav Kettner Katedra: Katedra fyziky povrchů a plazmatu Vedoucí bakalářské práce: doc. RNDr. Václav Nehasil, Dr., Katedra fyziky po- vrchů a plazmatu Abstrakt: V této práci byla zkoumána vhodnost použití systému rhodia deponova- ného na podložce plazmaticky napařeného TiO2 pro katalytickou reakci. Metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie byla nejprve ověřena teplotní stabilita TiO2 plazmově napařeného na hliníkové destičce. Poté bylo na podložku napařeno rhodium a byla zjištěna teplotní stabilita celého systému Rh/TiO2. Dále byla meto- dami termodesorpční spektroskopie a metodou molekulárních svazků zkoumána ad- sorpce a desorpce CO, a reakce CO s kyslíkem. Dle předpokladů bylo ověřeno, že systém Rh/TiO2 přestává adsorbovat CO po ohřevu nad 620 K, taktéž reakce CO s kyslíkem probíhá s výrazně nižší intenzitou po ohřevu nad 620 K. Po kalibraci na rhodiové destičce vyplynulo, že intenzita, s jakou vzniká CO2 na Rh/TiO2 je při- bližně 4x nižší než intenzita na čistém rhodiu. Jako nejvýraznější problém se však jeví samovolná pasivace systému vůči adsorpci a desorpci. Proto byl systém vyhod- nocen jako nevhodný pro další výzkum. Klíčová slova: Rhodium, TiO2, adsorpce a desorpce CO, rentgenová fotoelek- tronová spektroskopie,...
|
|
|
Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition
Průcha, Lukáš ; Daniel, Benjamin ; Piňos, Jakub ; Mikmeková, Eliška
Cleaning of the sample surfaces is crucial for scanning electron microscopy, especially for\nlow energy electron microscopy or for the deposition of thin layers, such as graphene,\nwhere surface has to be well prepared. In the best case, every unwanted particle should be\ncleaned from the sample surface for best low energy electron microscopy observation or thin\nfilm deposition. Unfortunately, the standard cleaning procedures can leave residues on the\nsample surface. This work is focused on thermal desorption spectroscopy (TDS). TDS is a method of observing desorbed molecules from a sample surface during the increase of\ntemperature of the sample. The aim of this study was to determine optimum conditions:\ntemperature and time, to achieve clean surfaces in the shortest time.
|
|
|
Studium interakce molekul plynů s aktivními povrchy
Kettner, Miroslav ; Nehasil, Václav (vedoucí práce) ; Johánek, Viktor (oponent)
Název práce: Studium interakce molekul plynů s aktivními povrchy Autor: Miroslav Kettner Katedra: Katedra fyziky povrchů a plazmatu Vedoucí bakalářské práce: doc. RNDr. Václav Nehasil, Dr., Katedra fyziky po- vrchů a plazmatu Abstrakt: V této práci byla zkoumána vhodnost použití systému rhodia deponova- ného na podložce plazmaticky napařeného TiO2 pro katalytickou reakci. Metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie byla nejprve ověřena teplotní stabilita TiO2 plazmově napařeného na hliníkové destičce. Poté bylo na podložku napařeno rhodium a byla zjištěna teplotní stabilita celého systému Rh/TiO2. Dále byla meto- dami termodesorpční spektroskopie a metodou molekulárních svazků zkoumána ad- sorpce a desorpce CO, a reakce CO s kyslíkem. Dle předpokladů bylo ověřeno, že systém Rh/TiO2 přestává adsorbovat CO po ohřevu nad 620 K, taktéž reakce CO s kyslíkem probíhá s výrazně nižší intenzitou po ohřevu nad 620 K. Po kalibraci na rhodiové destičce vyplynulo, že intenzita, s jakou vzniká CO2 na Rh/TiO2 je při- bližně 4x nižší než intenzita na čistém rhodiu. Jako nejvýraznější problém se však jeví samovolná pasivace systému vůči adsorpci a desorpci. Proto byl systém vyhod- nocen jako nevhodný pro další výzkum. Klíčová slova: Rhodium, TiO2, adsorpce a desorpce CO, rentgenová fotoelek- tronová spektroskopie,...
|
|
|
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) a její aplikace pro výzkum povrchových procesů
Potoček, Michal ; Čech, Vladimír (oponent) ; Pavlík, Jaroslav (oponent) ; Dub, Petr (vedoucí práce)
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) je obecná metoda pro povrchovou analýzu adsorbovaných molekul. Práce se v 1. kapitole zabývá teoretickými základy této metody a ukazuje princip desorpčního procesu ovlivněného podpovrchovou difuzí. Kapitola 2 se nejprve věnuje praktickému využití metody TDS při detekci povrchových molekul a určením vazebné energie. Experimenty byly zaměřeny na detekci povrchových adsorbantů a nečistot na povrchu desek Si. Druhá část této kapitoly se zabývá desorpcí atomů tenkých vrstev Ga a jejich podpovrchovou difuzi. Proces difuze Ga byl také pozorován hmotnostní spektrometrií sekundárních iontů (SIMS) a numericky simulován.
|
|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (oponent) ; Potoček, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is focused on automatization of post-processing and evaluation of thermal desorption spectroscopy (TDS) data. The theoretical part discusses the processes of adsorption and desorption of atoms and molecules on surfaces and the thermal dependence of the latter. This work also provides a quantitative analysis of the measured signal from the instrument. The main objective of the practical part is to create a computer tool for automatization of TDS data evaluation. Description of the program, as well as a user guide, is included in the work. Comprehensive tests of the created program were concluded on previously measured TDS spectra and the kinetic parameters of several samples were determined.
|
host ::
RSS.