|
Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (oponent) ; Hubálek, Jaromír (vedoucí práce)
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání.
|
| |
| |
|
Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (oponent) ; Hubálek, Jaromír (vedoucí práce)
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání.
|