|
|
In-situ charakterizace polovodičů pomocí technik rastrující sondové mikroskopie
Očkovič, Adam ; Pléha, David (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Diplomová práce se zaměřuje na analýzu polovodičových součástek pomocí rastrovací sondové mikroskopie. V první části jsou krystalické látky rozděleny dle elektrických vlastností. Poté je uvedena teorie vlastních a nevlastních polovodičů, PN přechod a nakonec jsou představeny základní typy a funkce tranzistorů. Ve druhé kapitole jsou uvedeny techniky SPM a jejich principy fungování, které jsou vhodné pro poruchovou analýzu polovodičových součástek. Ve třetí kapitole je představena měřící sestava, která se skládá z rastrovacího elektronového mikroskopu MIRA a rastrovacího sondového mikroskopu LiteScope, který využívá samosnímací sondy. Ve čtvrté kapitole jsou představeny polovodičové vzorky, kterými byly wolframové prokovy v řezu CMOS čipu, řez bipolárním tranzistorem a lamela unipolárního tranzistoru MOSFET. Na těchto vzorcích byla v poslední kapitole provedena analýza technikami AFM, CAFM, EFM, KPFM a SSRM. U každé techniky a vzorku byla provedena analýza změřených dat. Společně s technikami byly představeny základní omezení a zajímavé výstupy pro poruchovou analýzu.
|
|
|
Pokročilé techniky SPM měření elektrických vlastností materiálů
Kramář, Jan ; Konečný, Martin (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce je zaměřena na návrh řešení techniky pro měření lokálních elektrických vlastností vzorku v kontaktním režimu mikroskopie atomárních sil. Rešeršní část popisuje nejvíce rozšířené techniky měření těchto elektrických vlastností spadajících do rastrovací sondové mikroskopie. K realizaci byla zvolena technika rastrovací odporová mikroskopie. Důležitou součástí této techniky jsou zesilovače proudu. Z tohoto důvodu jsou podrobně popsány operační zesilovače, jeho různá zapojení a následná implementace nového zesilovače na mikroskop. Zbylá část se věnuje popisu a přípravě vzorků, na kterých byla funkčnost zesilovače a techniky testována.
|
|
|
Pokročilé techniky SPM měření elektrických vlastností materiálů
Kramář, Jan ; Konečný, Martin (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce je zaměřena na návrh řešení techniky pro měření lokálních elektrických vlastností vzorku v kontaktním režimu mikroskopie atomárních sil. Rešeršní část popisuje nejvíce rozšířené techniky měření těchto elektrických vlastností spadajících do rastrovací sondové mikroskopie. K realizaci byla zvolena technika rastrovací odporová mikroskopie. Důležitou součástí této techniky jsou zesilovače proudu. Z tohoto důvodu jsou podrobně popsány operační zesilovače, jeho různá zapojení a následná implementace nového zesilovače na mikroskop. Zbylá část se věnuje popisu a přípravě vzorků, na kterých byla funkčnost zesilovače a techniky testována.
|
host ::
RSS.