Müllerová, Ilona - Výsledky hledání - Digitální repozitář

host :: přihlásit Digitální repozitář
		Hledej		Nový záznam		Nápověda		O repozitáři

Hlavní stránka > Výsledky hledání: Müllerová, Ilona

Hledej:

Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání

Hledej ve sbírkách:

Seřadit podle:	Zobrazit výsledky:	Výstupní formát:

	Application of low-energy backscattered electron detection in the inspection of semiconductor devices technology Hutař, Otakar ; Oral, Martin ; Müllerová, Ilona ; Romanovský, Vladimír The low energy backscattered electron (BSE) detector, equipped with an electrostatic immersion lens for the retardation of the primary electron beam (PE) was elaborated and used for the imaging of surface semiconductor device specimens in a commercial SEM. Despite the signal of BSE is generally lower than that obtained using secondary electrons (SE), the achieved results predestine this BSE detection method as a suitable tool for the inspection of the fine structures of semiconductor devices and linewidth measurement of critical dimension (CD). Úplný záznam
	Characterization and diagnostics of materials by using slow electron microscopy Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona Úplný záznam
	Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation - 6th Seminar Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk Úplný záznam
	Distributed Monte Carlo: Smart Way for Computing Complex Problem Steklý, Richard ; Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona Úplný záznam
	Short Note on Low-Energy SEM Configuration Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk Úplný záznam
	Variable Mode Retarding Field Element for Low Energy SEM Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk ; Weimer, E. Úplný záznam
	Imaging with Slow Electrons in SEM Pejchl, David ; Müllerová, Ilona Úplný záznam
	Contrast Mechanisms at Low Energies in SEM Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk Úplný záznam
	Low voltage SEM applications in semiconductor devices Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk Úplný záznam
	Elektrostatický nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop pro Augerovu analýzu Romanovský, V. ; El Gomati, M. M. ; Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona Byl realizován rastrovací nízkoenergiový elektronový mikroskop (SLEEM) s katodovou čočkou, v níž jako katoda slouží vzorek připojený na záporný potenciál. V tomto uspořádání procházejí elektrony mikroskopem s vysokou energií a na nízkou energii jsou bržděny těsně před svým dopadem na vzorek. Takový systém zajišťuje vysokou úroveň signálu dokonce i při energiích dopadu v desítkách nebo jednotkách eV. Používání primárních elektronů o nízké energii přináší mnohé problémy, jako např. nízký jas zdroje, zvětšené zobrazovací vady a citlivost k rušivým polím. Rastrovací Augerova mikroskopie (SAM) je dobře zavedenou experimentální metodou. Kombinace SAM a SLEEM v jediném zařízení by tedy představovala nástroj postačující k vyřešení problémů, s nimiž se tyto metody potýkají jednotlivě. Ačkoliv již bylo mnohé vykonáno na poli detekce pomalých elektronů, žádná z metod známých v současnosti není způsobilá k zabudování do rastrovacího osvětlovacího tubusu pro analytickou Augerovu mikrosondu Úplný záznam

Viz též: podobná jména autorů
1	Müllerová, Irena
1	Müllerová, Ivana
1	Müllerová, Iveta

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.

Digitální repozitář :: :: :: ::
Powered by v1.1.2
Spravuje

Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky English