Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 13 záznamů.  předchozí11 - 13  přejít na záznam: Hledání trvalo 0.02 vteřin. 
Depozice tenkých vrstev Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody
Hubička, Zdeněk ; Virostko, Petr ; Olejníček, Jiří ; Deyneka, Alexander ; Adámek, Petr ; Valvoda, V. ; Jastrabík, Lubomír ; Šícha, Miloš ; Tichý, M.
Nízkotlaký systém dvou plazmových trysek s efektem duté katody byl použit pro depozice feroelektrických tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO). V keramických tryskách vyrobených z SrTiO3 a BaTiO3 byl zapálen pulzně modulovaný RF výboj s efektem duté katody. Chemické složení vrstev BSTO bylo kontrolováno pomocí středního výkonu přiváděného na jednotlivé trysky. Rentgenová difrakce potvrdila, že deponované tenké vrstvy BSTO jsou polykrystalické s perovskitovskou strukturou. Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou a měřák impedance byly použity pro ´in situ´ kontrolu depozičních podmínek.
Sondové diagnostiky plazmatického tryskového systému s dutou katodou pro depozice tenkých vrstev TiO.sub.x./sub..
Virostko, Petr ; Hubička, Zdeněk ; Kment, Štěpán ; Adámek, Petr ; Jastrabík, Lubomír ; Tichý, M.
Sondové diagnostické metody byly použity k určení parametrů plazmatu nízkotlakého nízkoteplotního plazmatického tryskového systému s efektem duté katody, používaného pro depozice tenkých vrstev TiOx. Pomocí Langmuirovy sondy byla získána rozdělovací funkce elektronů, koncentrace elektronů a jejich efektivní teploty pro různé pracovní podmínky. Získané parametry byly porovnány s měřením proudu kladných iontů na depoziční substrát s negativní predpětím. Na substrát bylo přivedeno pulzní DC nebo radiofrekvenční napětí.
Vlastnosti TIO.sub.x./sub. vrstev deponované za atmosférického tlaku
Sedláková, L. ; Hubička, Zdeněk ; Churpita, Olexandr ; Stranyánek, Martin ; Čtvrtlík, Radim ; Špatenka, P.
TIO.sub.x./sub. byli deponovány za použití RF bariérového pochodňového výboje, který pracuje za atmosférického tlaku a při nízké teplotě substrátu. Jako prekurzor byly použity páry Titanium (IV) isopropoxide Ti[OCH(CH..sub.3./sub.).sub.2./sub.].sub.4./sub. a jako substrát křemenné sklo.Depoziční podmínky při tvorbě vrstev byly u všech vzorků stejné. Byly zkoumány vlastnosti vrstev v závislosti na teplotě žíhání po depozici. U vrstev byla hodnocena tloušťka, anotvrdost, krystalinita vrstev metodou XRD difrakce a rychlost fotokatalytické degradace.

Národní úložiště šedé literatury : Nalezeno 13 záznamů.   předchozí11 - 13  přejít na záznam:
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.