|
|
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) a její aplikace pro výzkum povrchových procesů
Potoček, Michal ; Čech, Vladimír (oponent) ; Pavlík, Jaroslav (oponent) ; Dub, Petr (vedoucí práce)
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) je obecná metoda pro povrchovou analýzu adsorbovaných molekul. Práce se v 1. kapitole zabývá teoretickými základy této metody a ukazuje princip desorpčního procesu ovlivněného podpovrchovou difuzí. Kapitola 2 se nejprve věnuje praktickému využití metody TDS při detekci povrchových molekul a určením vazebné energie. Experimenty byly zaměřeny na detekci povrchových adsorbantů a nečistot na povrchu desek Si. Druhá část této kapitoly se zabývá desorpcí atomů tenkých vrstev Ga a jejich podpovrchovou difuzi. Proces difuze Ga byl také pozorován hmotnostní spektrometrií sekundárních iontů (SIMS) a numericky simulován.
|
|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (oponent) ; Potoček, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is focused on automatization of post-processing and evaluation of thermal desorption spectroscopy (TDS) data. The theoretical part discusses the processes of adsorption and desorption of atoms and molecules on surfaces and the thermal dependence of the latter. This work also provides a quantitative analysis of the measured signal from the instrument. The main objective of the practical part is to create a computer tool for automatization of TDS data evaluation. Description of the program, as well as a user guide, is included in the work. Comprehensive tests of the created program were concluded on previously measured TDS spectra and the kinetic parameters of several samples were determined.
|
|
|
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) a její aplikace pro výzkum povrchových procesů
Potoček, Michal ; Čech, Vladimír (oponent) ; Pavlík, Jaroslav (oponent) ; Dub, Petr (vedoucí práce)
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) je obecná metoda pro povrchovou analýzu adsorbovaných molekul. Práce se v 1. kapitole zabývá teoretickými základy této metody a ukazuje princip desorpčního procesu ovlivněného podpovrchovou difuzí. Kapitola 2 se nejprve věnuje praktickému využití metody TDS při detekci povrchových molekul a určením vazebné energie. Experimenty byly zaměřeny na detekci povrchových adsorbantů a nečistot na povrchu desek Si. Druhá část této kapitoly se zabývá desorpcí atomů tenkých vrstev Ga a jejich podpovrchovou difuzi. Proces difuze Ga byl také pozorován hmotnostní spektrometrií sekundárních iontů (SIMS) a numericky simulován.
|
|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (oponent) ; Potoček, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is focused on automatization of post-processing and evaluation of thermal desorption spectroscopy (TDS) data. The theoretical part discusses the processes of adsorption and desorption of atoms and molecules on surfaces and the thermal dependence of the latter. This work also provides a quantitative analysis of the measured signal from the instrument. The main objective of the practical part is to create a computer tool for automatization of TDS data evaluation. Description of the program, as well as a user guide, is included in the work. Comprehensive tests of the created program were concluded on previously measured TDS spectra and the kinetic parameters of several samples were determined.
|
host ::
RSS.