Název: SMV-2024-69: Měřící systémy pro litografy
Překlad názvu: SMV-2024-69: Measuring systems for lithographers
Autoři: Mikel, Břetislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2024
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Návrh uspořádání a realizace Optické hlavy pro vlnovou délku 637 nm, která má vstup přizpůsoben vláknovému konektoru FC/PC, na výstupu je laserový svazek zaostřen na vzdálenost 400 mm s šířkou 6-10 mm, tloušťkou max. 60 um a hloubkou ostrosti min. 5 mm. Design and implementation of an optical head for the wavelength of 637 nm, which has an input adapted to the FC/PC fibre connector, at the output the laser beam is focused at a distance of 400 mm with a width of 6-10 mm, a thickness of max. 60 um and a depth of field of min. 5 mm.
Klíčová slova: laser interferometry; laser source; measurement of length

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11104/0360862

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-668978