|
|
Depth profiling of multilayers by LEIS
Strapko, Tomáš ; Duda, Radek (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Diplomová práce se zabývá vytvořením modelu, který by umožnil lepší interpretaci hloubkových profilů měřených metodou LEIS. Obtížnost interpretace těchto profilů je dána vysokým podílem vícenásobně odražených projektilů v meřených spektrech. Tyto projektily nepřináší užitečnou informaci z dané hloubky. Naproti tomu jednonásobně odražené projektily nesou přesnější informaci o složení a tloušťce vrstev. V této práci vytvořený model se snaží určit příspěvek jednonásobně odražených částic k celkovému tvaru spektra a na základě něj i hloubkový profil vzorku.
|
|
|
Quantitative analysis of matrix elements using SIMS and LEIS methods
Staněk, Jan ; Šik, Ondřej (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
This thesis studies comparison and connection of two spectrometric methods – low energy ion scattering spektrometry (LEIS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS). SIMS method, despite its many positive qualities, suffers of so called matrix effect, which makes quantifiaction of data very difficult. LEIS method on the other hand is immune to this effect and so it’s suitable completion of SIMS method. As a convenient sample have been chosen AlGaN samples with various concentration of gallium and aluminium. In the first part of thesis is introduced physical essence of SIMS and LEIS method, experimental details and studied samples. In second part of the thesis there’s a description of measurements and comparison of data gained by each method.
|
|
|
Low Energy Ion Scattering on Gold Structures
Joch, Vítězslav ; Čech, Vladimír (referee) ; Průša, Stanislav (advisor)
This diploma thesis deals with comparison of experimental and simulated low energy ion scattering spectra. There is a theoretical description of basic principles of low energy ion scattering and description of the spectrometer, which is situated at Institute of physical engineering. It is shown, how to prepare samples using the colloidal gold solution. The deposition of gold nanoparticles is characterized. The usage and meaning of time and energy spectra of low energy ion scattering is explained. There is also shown the effect of channeling in Si substrate.
|
|
|
Depth profiling of multilayers by LEIS
Strapko, Tomáš ; Duda, Radek (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Diplomová práce se zabývá vytvořením modelu, který by umožnil lepší interpretaci hloubkových profilů měřených metodou LEIS. Obtížnost interpretace těchto profilů je dána vysokým podílem vícenásobně odražených projektilů v meřených spektrech. Tyto projektily nepřináší užitečnou informaci z dané hloubky. Naproti tomu jednonásobně odražené projektily nesou přesnější informaci o složení a tloušťce vrstev. V této práci vytvořený model se snaží určit příspěvek jednonásobně odražených částic k celkovému tvaru spektra a na základě něj i hloubkový profil vzorku.
|
|
|
Quantitative analysis of matrix elements using SIMS and LEIS methods
Staněk, Jan ; Šik, Ondřej (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
This thesis studies comparison and connection of two spectrometric methods – low energy ion scattering spektrometry (LEIS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS). SIMS method, despite its many positive qualities, suffers of so called matrix effect, which makes quantifiaction of data very difficult. LEIS method on the other hand is immune to this effect and so it’s suitable completion of SIMS method. As a convenient sample have been chosen AlGaN samples with various concentration of gallium and aluminium. In the first part of thesis is introduced physical essence of SIMS and LEIS method, experimental details and studied samples. In second part of the thesis there’s a description of measurements and comparison of data gained by each method.
|
|
|
Low Energy Ion Scattering on Gold Structures
Joch, Vítězslav ; Čech, Vladimír (referee) ; Průša, Stanislav (advisor)
This diploma thesis deals with comparison of experimental and simulated low energy ion scattering spectra. There is a theoretical description of basic principles of low energy ion scattering and description of the spectrometer, which is situated at Institute of physical engineering. It is shown, how to prepare samples using the colloidal gold solution. The deposition of gold nanoparticles is characterized. The usage and meaning of time and energy spectra of low energy ion scattering is explained. There is also shown the effect of channeling in Si substrate.
|
guest ::
