National Repository of Grey Literature 4 records found  Search took 0.01 seconds. 
Calibration task of experimental device for space technology testing
Lazar, Václav ; Horák, Marek (referee) ; Mašek, Jakub (advisor)
Diplomová práce se zabývá možnosti kalibrace experimentálního testovacího zařízení. Zejména se věnuje návrhu termálního matematického modelu popisujícího tepelné procesy uvnitř zařízení v průběhu měření tepelné vodivosti vzorku. První část práce je věnována seznámení se s testovacím zařízením, jeho limity a principem měření. Popisuje řešení třetí verze testovací komory, společně s nezbytnými úpravami, provedenými za účelem zajištění předepsaných simulačních podmínek. Zmiňuje také potřebu a důvody kalibrace. Druhá část je především zaměřená na návrh kalibračních vzorků a termálního modelu. Uvádí definované požadavky a konečné vlastnosti vyrobených vzorků. Matematický model prezentuje postup výpočtu zjištěných tepelných ztrát a poukazuje na možnosti jejich zpřesnění. Testování kalibračních vzorků bylo provedeno na nově zprovozněné třetí verzi testovací komory. Naměřené výsledky poslouží k ladění termálního modelu, nezbytného k dokončení kalibračního procesu, který umožní přikročení k další fázi testování v experimentální komoře.
SMV-2019-06: Development of test specimens for SEM
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Knápek, Alexandr
Contract research is concerned with the development of precision relief structures in silicon for testing of scanning electron microscopy (REM) imaging. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.
Calibration task of experimental device for space technology testing
Lazar, Václav ; Horák, Marek (referee) ; Mašek, Jakub (advisor)
Diplomová práce se zabývá možnosti kalibrace experimentálního testovacího zařízení. Zejména se věnuje návrhu termálního matematického modelu popisujícího tepelné procesy uvnitř zařízení v průběhu měření tepelné vodivosti vzorku. První část práce je věnována seznámení se s testovacím zařízením, jeho limity a principem měření. Popisuje řešení třetí verze testovací komory, společně s nezbytnými úpravami, provedenými za účelem zajištění předepsaných simulačních podmínek. Zmiňuje také potřebu a důvody kalibrace. Druhá část je především zaměřená na návrh kalibračních vzorků a termálního modelu. Uvádí definované požadavky a konečné vlastnosti vyrobených vzorků. Matematický model prezentuje postup výpočtu zjištěných tepelných ztrát a poukazuje na možnosti jejich zpřesnění. Testování kalibračních vzorků bylo provedeno na nově zprovozněné třetí verzi testovací komory. Naměřené výsledky poslouží k ladění termálního modelu, nezbytného k dokončení kalibračního procesu, který umožní přikročení k další fázi testování v experimentální komoře.
Calibration specimens for microscopy
Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Matějka, František ; Krátký, Stanislav ; Urbánek, Michal ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav ; Bok, Jan
Recent developments in nanotechnologies raised new issues in microscopy with nanometer and sub nanometer resolution. Together with the imaging techniques, new approaches in the metrology field are required both in the direct metrology issues and in the area of calibration of the imaging tools (microscopes). Scanning electron microscopy needs the calibration specimens for adjusting the size of the view field (correct magnification) and the shape of that field (correction of deflection field distortions). Calibration specimens have been prepared using different technologies; among them the e–beam patterning and the e–beam lithography have been proved to be appropriate and flexible tool for that task. In the past, we have reported several times our achievements in this field (e.g. [1]). Nevertheless, recent advances of the patterning tool (BS600), mainly the development of the technology zoomed exposure mode [2] and the installation of the magnetic field active cancellation system [3], pushed remarkably the technology necessary for further advances in this area. Within this contribution some theoretical, technology and practical aspects are discussed; achieved results are presented.

Interested in being notified about new results for this query?
Subscribe to the RSS feed.