|
Studium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS
Sekula, Filip ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Průša, Stanislav (vedoucí práce)
Tato práce se věnuje studiu povrchové kontaminace optických dílů metodou rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS. Výskyt povrchových nečistot na optických komponentách má negativní dopad na tenké vrstvy na ně nanášené. Ke kontaminaci může docházet mezi jednotlivými kroky výroby. Určením složení těchto nečistot by bylo možné jim předcházet a zvýšit tak efektivitu vrstvících procesů. Měření je prováděno na pravoúhlých optických hranolech za pokojové teploty. Zabýváme se také konstrukcí držáku vzorků s možností jejich vyhřívání v preparační komoře. Dále se věnujeme referenčním měřením k následné kvantifikaci povrchových nečistot.
|
|
Studium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS
Sekula, Filip ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Průša, Stanislav (vedoucí práce)
Tato práce se věnuje studiu povrchové kontaminace optických dílů metodou rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS. Výskyt povrchových nečistot na optických komponentách má negativní dopad na tenké vrstvy na ně nanášené. Ke kontaminaci může docházet mezi jednotlivými kroky výroby. Určením složení těchto nečistot by bylo možné jim předcházet a zvýšit tak efektivitu vrstvících procesů. Měření je prováděno na pravoúhlých optických hranolech za pokojové teploty. Zabýváme se také konstrukcí držáku vzorků s možností jejich vyhřívání v preparační komoře. Dále se věnujeme referenčním měřením k následné kvantifikaci povrchových nečistot.
|
| |
| |
| |
|
Misalignment aberrations
Dvořák, David
Misalignment aberrations arise from (small) imperfections of lens geometry - either because of the inaccuracy in the manufacturing of individual elements (like electrodes and/or pole-piece defects) or the misalignment of the optical elements in the system (tilted of shifted element). Under suchcircumstances the ideal symmetry is disturbed and additional parasitic fields are produced. In the effect they are producing additional image aberrations.
|